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等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。
等離子有機廢氣凈化器工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。
在處理過程中，當有機氣體進入等離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室(PRC)。反應室分成96根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。
一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
同時注入環境或者二級氣體來優化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。
