用微機械加工技術制造的典型產品是硅微型，對此美國日本和歐洲均已形成產業。硅微型近幾年來發展很快，該傳感器主要應用于汽車工業和醫療保健領域。
硅微型的特點是體積小，重量輕，沒有活動部件，性高，又能大規模生產該傳感器，所以造價低。高性，低成本對于汽車工業的要求可以說是 非常適合的，因此在汽車工業中迅速擴展了它的應用領域。如自動剎車系統的壓車面壓力，輪胎壓力，氣囊壓力，傳動系統流體壓力，注入系統流體壓力，注入燃料 壓力，發動機機油壓力。進氣管道壓力都有硅微型額用武之地。
LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機械加工技術開發了一種能直接埋入輪胎的。它能在汽車輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時向司機報警。全世界汽車每年的生產量高達幾千萬輛，因此這是一個極有前途的市場。
硅微型在醫療保健領域里的較大應用產品是血壓監視器。據稱一些大的醫療機械制造上每年要使用近500萬只。此外，如婦女難產時監控 子宮壓力用的硅微型，靜脈注射監控藥液流動的傳感器等都是有相當數量的市場需求。其他許多醫療保健方面的應用也正在不斷開發中。
硅微型基本上分成兩類：電容式和壓阻式。電容式的包括一個薄膜，它作為可變空氣電容器的一個極板，當薄膜上承受壓力時，薄膜產生位 移，從而改變電容值，利用這種變化經過相應的電路處理，就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時會產生電阻變化的原理制成，一般將4個硅材料的 應變電阻構成惠斯通電橋來測量壓力。
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微型壓力傳感器
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