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半導(dǎo)體單晶圓片蒸發(fā)清洗線
本設(shè)備適用于微電子半導(dǎo)體各尺寸硅晶圓片的清洗腐蝕，整體設(shè)備用料為德國磁白色聚丙烯（PP），經(jīng)雕刻后組合焊接加工而成，門板采用德國透明聚氯乙烯（PVC）；腐蝕槽采用德國自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽采用德國自然色聚丙烯板（NPP）；關(guān)健部件采用原器件。設(shè)備的腐蝕槽和清洗槽間的轉(zhuǎn)換由SEW驅(qū)動，以迅速實現(xiàn)槽與槽之間的硅片轉(zhuǎn)換。另外，此設(shè)備腐蝕槽還配有美國聚四氟乙烯加熱器、虹吸上排、傳感器。清洗槽配有溢流裝置，和N2鼓泡裝置。適用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)，也適合于高校化學(xué)實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。非標(biāo)規(guī)格，具體規(guī)格依客戶工藝確定。
