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光學檢測儀
視覺系統
工業相機 2M像素彩色數字相機
分辨率10-20 um可調
視野尺寸32 x 24mm (分辨率：20um)
取像與運算時間250mm/FOV 4-5FOV/s
運動系統
X/Y軸驅動系統 交流伺服驅動系統
X/Y軸編碼器分辨率 0.3um
機械運動機構 精密級滾珠絲杠 + 滑軌
運動速度 500mm/s
運輸軌道
適用基板尺寸 50x50 – 330x250 mm
適用基板厚度 0.3 - 6 mm
可適應基板彎曲度 ±3 mm
使用基板上下凈高 上：30 mm 下：60 mm
外型尺寸
長 x 寬 x 高: 700 x 1205 x 1362 mm (不含信號燈)
設備重量 460kg
電源規格
單相交流220V ±10%, 50/60Hz
氣壓要求 0.5Mp
通訊方式 標準SMEMA接口
