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目前制備電子工業用超水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：
1、種采用離子交換樹脂其優點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超水經濟，用來制取超水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超水，對環境沒破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
采用多級反滲透
制取電子工業超水處理 采用電去離子（EDI）電去離子
制取電子工業超水處理
我們公司生產的電子超水設備特點
設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備性。
采用碳鋼多級離子交換
制取電子工業超水處理 還未裝入樹脂的去離子設備
