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CAX系列X-Y精密平臺選用高強度鋁合金，經(jīng)應力消除處理后再經(jīng)攝氏196度之超深冷處理，可長期使用仍
保有良好之精密度。工作臺內(nèi)部和進給機構(gòu)裝有5年或20000公里免維護的精密級直線導軌和C3級滾珠絲杠，既
保持了原來的性能又實現(xiàn)了長期免維護。實現(xiàn)了穩(wěn)定的高行走精度、定位精度和大搭載質(zhì)量，該結(jié)構(gòu)承受力矩
及復合負荷較強。采用AC400W伺服馬達，全閉環(huán)控制實現(xiàn)了極高精度的定位工作臺。X-Y軸的平臺220mm有效行
程為8吋晶元設(shè)計。
型號表示：
CAX15R220-Y220P10-S1-M
（1）CAX15：CAX平臺底座寬度150mm；
（2
）R220：X軸有效行程220mm；
（3）Y220：Y軸有效行程220mm；
（4）10：滾珠絲桿的導程分為5mm和10mm；
（5）S1：SX671型極限開關(guān)，S2：SX674型極限開關(guān)；
（6）M：AC400W伺服馬達；可客制化。
用戶可根據(jù)
不同的工作環(huán)境選擇產(chǎn)品氧化后染黑處理、本色陽極氧化、硬質(zhì)氧化、彩色氧化、噴砂氧化、鈍化、化學鍍鎳
等表面處理方式。特殊要求可達到B.S.5599(1978)英國標準、AMS2469C 太空材料規(guī)格及MIL-A-8625E
TYPE Ⅲ軍事規(guī)格等材質(zhì)。
